CVD系统管式炉

GR.TF系列真空管式炉详细介绍

GR.TF系列真空管式炉，具有合理的性能设计，集多项功能于一身，安全性，可靠性，实用性均达理想效果。

1、最高温度1100℃-1800℃，加热区为300mm。

2、炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。

3、炉管采用高纯石英管或者刚玉管，两端采用SUS304高真空法兰密封。

4、炉膛材料采用优质的进口氧化铝多晶纤维真空吸附制成，与传统硬质炉膛材料电炉相比节能性明显提高，具有较强的抗骤冷骤热性，1100℃电炉炉膛由上下两部分组成，其中上部分炉膛可整体向后翻转110℃，1100℃以上电炉炉膛为一体式，方便取放实验物料、更换炉管。加热元件采用瑞典康泰尔电阻丝、硅碳棒、硅钼棒。

5、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，仪表控制精度为±1℃，具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序，具有超高温报警功能，具有热电偶损坏断电功能，具有内置参数密码控制功能。

6、升温速率≤30℃/min（建议升温速度≤10℃/min），可编写30段自动升温程序，可控硅控制，配备数显LED电压表、电流表。

7、可选配RS-485通讯接口，数据管理软件，具有无纸记录历史数据和升温曲线，校正温度偏离误差的功能，可以管理多台设备和远程故障诊断分析。

8、多种安全防护设计，安全性能好，使用寿命长。

9、电炉可以抽真空、通气氛，真空度可以达到10pa（机械泵），如果需要更高真空度可以选择分子泵，达到6.67x10-3pa。

标准配置：

1、304不锈钢法兰1套

2、密封圈4只

3、炉塞 2只

4、炉勾 1把

5、说明书、保修卡、合格证 1套

6、石英管或者刚玉管  1支

高真空泵组（分子泵组）

   GR-620/GR-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

FJ-620分子泵机组技术性能：

GR.TF系列真空管式炉型号及规格